若何挑选真空泵及必须应注重的题目有哪些?
来历:hychomel.com 宣布时候:2014-10-17 10:42
  选用真空泵时,须要注重以下事变:
  1、直联真空泵的任务压强应当知足真空装备的极限真空及任务压强请求。如:真空镀膜请求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度最少要5×10-6mmHg。凡是挑选泵的真空度要高于真空装备真空度半个到一个数目级。
  2、准确地挑选真空泵的任务点。每种泵都有必然的任务压强规模,如:分散泵为10-3~10-7mmHg,在如许宽压强规模内,泵的抽速随压强而变更,其不变的任务压强规模为5×10-4~5×10-6mmHg。因此,泵的任务点应当选在这个规模以内,而不能让它在10-8mmHg下持久任务。又如钛升华泵能够在10-2mmHg下任务,但其任务压强应小于1×10-5mmHg为好。
  3、真空泵在其任务压强下,应能排走真空装备工艺进程中发生的全数气体量。
  4、准确地组合真空泵。由于真空泵有挑选性抽气,因此,偶然选用一种泵不能知足抽气请求,须要几种泵组合起来,相互补充能力知足抽气请求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必然的抽速,二者组合起来,便会使真空装配获得较好的真空度。别的,有的真空泵不能在大气压下任务,须要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,须要前级泵,故都须要把泵组合起来利用。
  5、真空装备对油净化的请求。若装备严酷请求无油时,应当选各类无油泵,如:水环泵、份子筛吸附泵、溅射离子泵、高温泵等。若是请求不严酷,能够挑选有油泵,加上一些防油净化办法,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能到达洁净真空请求。
  6、领会被抽气体成份,气体中含不含可凝蒸气,有没有颗粒尘埃,有没有侵蚀性等。挑选真空泵时,须要晓得气体成份,针对被抽气体挑选响应的泵。若是气体中含有蒸气、颗粒、及侵蚀性气体,应当斟酌在泵的进气口管路上装配帮助装备,如冷凝器、除尘器等。
  7、真空泵排挤来的油蒸气对环境的影响若何。若是环境不许可有净化,能够选无油真空泵,或把油蒸气排到室外。
  8、真空泵任务时发生的振动对工艺进程及环境有没有影响。若工艺进程不许可,应挑选无振动的泵或采用防振动办法。
  9、真空泵的价钱、运转及维修用度。
  水环式真空泵的挑选
  一、泵范例简直定
  SK水环真空泵的范例首要由任务所需的宇量、真空度或排气压力而定。
  泵任务时,须要注重以下两个方面:
  1.尽能够请求在高效区内,也便是在临界真空度或临界排气压力的地区内运转。
  2.应防止在最大真空度或最大排气压力四周运转。在此地区内运转,不只效力极低,并且任务很不不变,易发生振动和乐音。对真空度较高的真空泵而言,在此地区以内运转,常常还会发生汽蚀景象,发生这类景象的较着标记是泵内有乐音和振动。汽蚀会致使泵体、叶轮等整机的破坏,乃至泵没法任务。
  按照以上准绳,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵当选取。若是真空度或排气压力较高,单级泵常常不能知足,或,请求泵在较高真空度环境下仍有较大宇量,即请求机能曲线在较高真空度时较平展,可选用两级泵。若是真空度请求在-710mmHg以上,可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装配。
  若是只作真空泵用,则选用单感化泵比拟好。由于单感化泵的机关简略,轻易制作和保护,且在高真空环境下抗汽蚀性好。
  若是仅作较大宇量的紧缩机利用,则选用双感化的泵比拟适合。由于双感化泵的宇量大,体积小,分量轻,径向力能获得主动均衡,轴不轻易发生委靡断裂,泵的利用寿命较长。
  二、按照体系所需的宇量挑选真空泵
  开端选定了泵的范例以后,对真空泵,还要按照体系所需的宇量来选用泵的型号。
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